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利用衍射擴散器使準分子激光光束均勻化
時間:2011-08-25 09:34來源:訊技光電作者: 技術部點擊:打印

本案例介紹利用衍射擴散器使準分子激光光束均勻化,通過優化擴散器以生成一個圓形的top hat。

 

關鍵詞:衍射光學,衍射光學元件,均勻(homogenization),擴散器,準分子激光,部分相干

 

所需工具箱:Starter Toolbox Premium

 

相關TutorialsHSL.1, DO.2

 

建模任務

 衍射擴散傳輸器                          目標平面

 


          準分子激光                聚焦透鏡(f=20mm                強度分布
 

照射光束參數

 

·光源面尺寸:100×100um

·發散角(HWHM):0.89×0.89°

·空間相干長度:3×3 um

·波長:351nm

 

衍射發散器

 


·取樣間隔:5um

·尺寸:640×640um

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