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使用傅里葉模態法分析閃耀光柵
時間:2020-04-27 10:22來源:訊技光電作者: 技術部點擊:打印
摘要
 
可用于嚴格分析光柵效率。在VirtualLab Fusion中,可以設置光柵系統、執行嚴格的分析、并以不同的格式分析結果(例如光柵階次匯集、單值等)。與參數運行結合使用,可以在給定的參數空間上進行掃描,以研究指定結構在不同配置下的性能。

傅里葉模態法(FMM,也稱為RCWA)
 
建模任務

 
單次FMM仿真結果

 
參數掃描(1D)

 
參數掃描(2D)
  
 
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